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測(cè)量(微調(diào))平臺(tái)
TA620測(cè)量平臺(tái),絲桿升降,平臺(tái)上設(shè)置V型槽,用來(lái)測(cè)量形狀較小的工件,可提高測(cè)量平臺(tái)。
TA630微調(diào)平臺(tái),X—Y平面轉(zhuǎn)角,俯仰角。
TA631微調(diào)平臺(tái),X—Y平面轉(zhuǎn)角。
TA630、631都用來(lái)較小幅度的,粗確調(diào)整被測(cè)量工件的位置,提高測(cè)量精度。